ASML近日在社交平台发文称:芯片制造商需要速度,第一台TWINSCAN NXE:3800E现已安装在一家芯片工厂中。
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据了解,TWINSCAN NXE:3800E是ASML的第三代标准EUV光刻机,其配备了0.33数值孔径透镜,相较于此前发布的TWINSCAN NXE:3600D性能有了进一步提升,能够支持未来几年芯片行业3nm以及2nm制程芯片的生产制造。文章源自玩技e族-https://www.playezu.com/821132.html
在性能方面,TWINSCAN NXE:3800E在晶圆处理速度与对准精度方面有了更出色的表现,它可以实现每小时处理195片晶圆的速度,相较于3600D每小时约160片的速度大约提升了22%,而且未来还有可能提升到每小时处理220片晶圆的速度。此外它还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。文章源自玩技e族-https://www.playezu.com/821132.html
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TWINSCAN NXE:3800E精度与速度上的提升,让芯片制造厂商在生产2nm制程芯片以及后续需要双重曝光的制造技术时有很好的效果。不过即使是用于4nm或者5nm的制程芯片,TWINSCAN NXE:3800E也能够提升效率,让芯片的生产更高效,从而降低成本。文章源自玩技e族-https://www.playezu.com/821132.html
当然,这样一套目前行业领先的EUV光刻机自然价格也是不便宜,据了解TWINSCAN NXE:3800E每套报价为1.8亿美元,换算成人民币约为13亿元。不过相较于前段时间ASML卖给英特尔的High-NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200(报价为3.8亿美元),也算是比较有性价比了。文章源自玩技e族-https://www.playezu.com/821132.html
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虽然ASML官方并没有透露首台TWINSCAN NXE:3800E具体交付给了哪家厂商,但有评论指出是英特尔。在ASML的助力下,美国芯片企业发展顺风顺水,在努力拉开与其它国家的差距。文章源自玩技e族-https://www.playezu.com/821132.html
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